2017-4-13 · messgeräte vom Typ LIP 382 mit Stan-dardabtastkopf und kundenspezifi-schem Maßstab sitzen rund um die bei-den Glasplatten (Bild 3). Jeweils drei ermitteln die Position der oberen und der unteren Platte. Die ermittelten Po-sitionswerte gehen an eine Steuerungs-elektronik, die die Position der oberen Platte über Piezos verstellen kann